軟磁性積層膜および薄膜磁気ヘッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：穂上照忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-182617
公開番号（公開出願番号）：特開2001-015339
出願日： 1999年06月29日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
要約：

【要約】【課題】飽和磁束密度が高く、高周波領域で高い透磁率を有し、かつすぐれた耐熱性を有する軟磁性薄膜と、それを用いた薄膜磁気ヘッドの提供。【解決手段】Fe、Co、Niの1種以上からなる第一の強磁性体層2と、Fe、Co、Niの1種以上にNを含む合金からなる第二の強磁性体層3とを交互に積層した軟磁性薄膜であって、これら両強磁性体層の間にAl、Si、Ti、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、またはそれらの元素の窒化物が非磁性層1として存在する軟磁性積層膜、およびこの軟磁性積層膜が、書き込み磁極部または素子シールド部に使用されている薄膜磁気ヘッド。

請求項（抜粋）：

Fe、Co、Niの1種以上からなる強磁性体層と、Fe、Co、Niの1種以上にNを含む合金からなる強磁性体層とを交互に積層した軟磁性薄膜であって、これら両強磁性体層の間にAl、Si、Ti、Cr、Zr、Nb、Mo、Hf、Ta、W、およびこれらの元素の窒化物の中から選んだ1種以上が非磁性体層として存在することを特徴とする軟磁性積層膜。

IPC (4件)：

H01F 10/30 , C22C 38/00 303 , G11B 5/31 , H01F 10/10

FI (4件)：

H01F 10/30 , C22C 38/00 303 S , G11B 5/31 C , H01F 10/10

Fターム (9件)：

5D033BA03 , 5D033BA08 , 5E049AA01 , 5E049AA04 , 5E049AA07 , 5E049AC05 , 5E049BA12 , 5E049BA27 , 5E049DB12

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