特許
J-GLOBAL ID：200903093296028677
炭素材料作製装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-348217
公開番号（公開出願番号）：特開平5-155687
出願日： 1991年12月04日
公開日（公表日）： 1993年06月22日
要約：
【要約】【目的】 コストの高いプロセスを使用せずにダイヤモンドを含む炭素材料を容易に安価に形成する装置を提案する。【構成】 ハロゲン化炭化水素材料を主成分とする原料気体を活性化する際にその活性化領域周囲の反応室材料を特定し、炭素材料を作製する装置。
請求項（抜粋）：
ハロゲン化炭化水素を原料ガスとして使用するダイヤモンドを含む炭素材料またはダイヤモンド材料の作製装置であって、前記作製装置は800〜1000°Cに加熱して前記原料ガスを分解して活性種を作製する分解領域を有し、かつ前記分解領域と離れて設けられた100 〜400 °Cに加熱可能な成膜領域を有し、前記2つの領域の周囲は少なくとも前者はセラミック材料あるいは耐酸化性金属材料で構成されていることを特徴とする炭素材料作製装置。
IPC (3件)：
C30B 29/04
, C23C 16/24
, C30B 25/08
