特許
J-GLOBAL ID：200903093297622670

真空ピンセット

発明者：
鹿野 明彦

鹿野 明彦 について

, 
森元 哲也

森元 哲也 について


出願人/特許権者：
東ソー・クォーツ株式会社

東ソー・クォーツ株式会社 について


代理人 (1件)： 石井 良和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-084226
公開番号（公開出願番号）：特開2001-271166
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月02日
要約：
【要約】【課題】石英ガラス製の真空ピンセットで表面が鏡面状のウェーハを真空吸着して真空破壊するときに、ウェーハ面に応力やキズを発生させることなく剥離できるようにする。【解決手段】被吸着物を吸着する真空ピンセットの開口部を含む面を表面平滑性を有する硬質皮膜であるDLC(ダイヤモンド・ライク・カーボン)膜で被覆する。DLC膜は石英ガラスと熱膨張係数がほぼ等しく、膜ストレスが発生せず、均一で強固な皮膜を形成する。
請求項（抜粋）：
吸引によって被吸着物を吸着する石英ガラス製の真空ピンセットであって、少なくとも吸引口を1つ有し、吸引口の面が表面平滑性を有する硬質皮膜で被覆されている真空ピンセット。
IPC (5件)：
C23C 14/50 ,  B25J 15/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68
FI (5件)：
C23C 14/50 A ,  B25J 15/06 J ,  B65G 49/07 G ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/68 S
Fターム (27件)：
3F061AA00 ,  3F061AA04 ,  3F061CA01 ,  3F061CB02 ,  3F061CB05 ,  3F061CC01 ,  3F061DB04 ,  3F061DC03 ,  4K029AA09 ,  4K029BA34 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029JA05 ,  4K029KA01 ,  5F031CA02 ,  5F031GA69 ,  5F031PA26 ,  5F045AA19 ,  5F045AB07 ,  5F045AC16 ,  5F045AE15 ,  5F045AF07 ,  5F045BB14 ,  5F045EH09 ,  5F045EM01 ,  5F045EM09 ,  5F045EN10
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • 特開平2-186656
  • ウェハ搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-175501   出願人：京セラ株式会社
  • カラー液晶表示装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-132347   出願人：三洋電機株式会社
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審査官引用 (6件)
  • 特開平2-186656
  • 特開平2-186656
  • 防塵性硬質炭素被膜
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-316036   出願人：大同特殊鋼株式会社
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