特許
J-GLOBAL ID：200903093298232271
金属材料の研磨用組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-219774
公開番号（公開出願番号）：特開平5-059351
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月09日
要約：
【要約】【構成】水とアルミナ研磨材及び水溶性金属塩を研磨促進剤とする金属材料の研磨用組成物に於いて、該組成物中にフッ素系界面活性剤を含有させたことを特徴とする金属材料の研磨用組成物。【効果】磁気ディスク基板材料、半導体基板材料等の金属材料の研磨用組成物として、ピット、ノジュール等の表面欠陥がなく表面平滑性に特に優れる研磨を可能とした。
請求項（抜粋）：
水とアルミナ研磨材及び水溶性金属塩を研磨促進剤とする金属材料の研磨用組成物に於いて、該組成物中にフッ素系界面活性剤を含有させたことを特徴とする金属材料の研磨用組成物。
IPC (2件)：
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