特許
J-GLOBAL ID：200903093298970671
縮小投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019867
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232029
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】縮小投影露光装置において、縮小レンズの熱膨張により発生する焦点位置の変動を予測し、補正することを目的とする。【構成】ステージ20上に設けられた合焦点検出器50を用い、露光前に、縮小レンズに露光光を入射したときの焦点位置の変化を求める。このとき、焦点位置の変化を表すパラメータを算出する。露光時には、縮小レンズ10に入射する露光光の光量と算出したパラメータを用い、焦点位置の変動量を予測し、縮小レンズとステージの距離を調節することにより焦点位置変動を補正する。【効果】露光時の焦点位置の変動による焦点ズレを低減することができるために、安定した露光が可能となる。
請求項（抜粋）：
回路パターンが描かれたレティクルと、レティクルに露光光を照射する照明部と、前記レティクルのパターンを縮小する縮小レンズと、前記縮小レンズの焦点位置付近で光軸方向と光軸方向に対して垂直方向に移動可能なステージからなる装置で、前記縮小レンズの露光時の焦点位置の変動を予測する手段を備え、焦点位置の変動予測結果より、前記ステージ位置を合焦点位置に保つことを特徴とする縮小投影露光装置。
IPC (5件)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03B 27/34
, G03F 7/20 521
, G03F 9/02
