特許
J-GLOBAL ID：200903093302601856
被研磨基板保持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-269680
公開番号（公開出願番号）：特開平10-113861
出願日： 1996年10月11日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【目的】 被研磨基板の保持面を所望の曲率に設定、保持できる基板保持装置を得ること。【構成】 本発明の基板保持装置1は、被研磨基板Sを保持する保持面を備えたベンド板13とそのベンド板13を支持するベンド板受け12と前記ベンド板の背面に作用して、前記ベンド板の前記保持面を凸球面状から凹球面状の任意の曲率に変化させる保持面曲率可変装置(6,7,8,9A,9B,13,14,14Aなど)とから構成されていて、この保持面曲率可変装置がベンド板13の背面に作用して、ベンド板13の保持面(これはバッキングパッド15でもあるが)を凸球面状から凹球面状の任意の曲率に変化させている。
請求項（抜粋）：
被研磨基板を保持する保持面を備えたベンド板と、該ベンド板を支持するベンド板受けと、前記ベンド板の背面に作用して、前記ベンド板の前記保持面を凸球面状から凹球面状の任意の曲率に変化させる保持面曲率可変装置と、から構成されていることを特徴とする被研磨基板保持装置。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
B24B 37/04 E
, H01L 21/304 321 H
