特許

J-GLOBAL ID：200903093302698248

ポリイミド樹脂のエッチング液およびエッチング方法

発明者： 石川 哲也 ,  大竹 重成 ,  神田 勇一
出願人/特許権者： 三菱伸銅株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-256803
公開番号（公開出願番号）：特開平5-202206
出願日： 1991年10月03日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【目的】 BPDA(ビフェニルテトラカルボン酸二無水物)とジアミンとを縮合重合したポリイミド樹脂を十分な速度で正確にエッチングする。【構成】 水酸化ナトリウム(40wt%)水溶液を20〜70%vol、エチレンジアミンを2〜20%vol、ヒドラジン1水和物を10〜30%vol、ジメチルアミン溶液(20wt%)を2〜10%vol、およびN-Nジメチルホルムアミドを2〜10%volそれぞれ含有するエッチング液を、60〜90°Cで作用させる。

請求項（抜粋）：

水酸化ナトリウム(40wt%)水溶液を20〜70%vol、エチレンジアミンを2〜20%vol、ヒドラジン1水和物を10〜30%vol、ジメチルアミン溶液(20wt%)を2〜10%vol、およびN-Nジメチルホルムアミドを2〜10%vol、それぞれ含有することを特徴とするポリイミド樹脂のエッチング液。

IPC (2件)：

C08J 7/00 CFG ,  H05K 3/00