特許
J-GLOBAL ID：200903093304018724
多層自己整列型垂直櫛形ドライブ静電アクチュエータ及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外9名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-571544
公開番号（公開出願番号）：特表2003-529312
出願日： 2001年03月23日
公開日（公表日）： 2003年09月30日
要約：
【要約】多層垂直櫛形アクチュエータは、複数の第1櫛形フィンガーを有する第1櫛形構造体と、複数の第2櫛形フィンガーを有する第2櫛形構造体とを備え、それら第1及び第2の櫛形フィンガーは実質的に指を組んだ状態にされる。第1及び第2の櫛形フィンガーは、絶縁層又はエアギャップにより互いに電気的に分離された2つ以上の積層された導電層を含む。或いは、第1又は第2のいずれかの櫛形フィンガーが1つの導電層のみを含んでもよい。第1及び第2の櫛形フィンガー間に電圧を印加すると、第2の櫛形構造体が第1の櫛形構造体に対して移動される。本発明は、2つの軸に沿って可動素子を回転させる二次元ジンバル構成を含む。
請求項（抜粋）：
複数の第1櫛形フィンガーを有する第1櫛形構造体と、 複数の第2櫛形フィンガーを有する第2櫛形構造体とを備え、該第2櫛形構造体は、第2櫛形フィンガーが第1櫛形フィンガーと指を組んだ状態となってそれと自己整列するように配置され、そして 上記第1及び第2櫛形フィンガーの1つ以上は、少なくとも1つの第1導電層及び少なくとも1つの第2導電層を含み、それら第1及び第2の導電層は、互いに電気的に分離される多層垂直櫛形ドライブアクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
