特許
J-GLOBAL ID：200903093313045521
風向・風速・温度と空気中の微粒子測定方法及び測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
齊藤 明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-210389
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054265
出願日： 1994年08月10日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：
【要約】【目的】 クリーンルーム内の風向・風速・温度と空気中の微粒子測定において、同位置、同時測定を正確に行うと共に、その測定結果に基づいてクリーンルーム内の状況を正確に把握することにある。【構成】 風向・風速・温度と空気中の微粒子測定方法は、次のステップから成る。先ず、風向風速温度演算部204の測定プローブ200の中心Cから所定の距離r以内の位置に、パーティクルカウンタ104の空気吸引口100を設置し、次に、測定プローブ200を用いた風向・風速・温度測定と、空気吸引口100を用いた空気中の微粒子測定とを連続して繰り返し行う。この場合、上記測定プローブ200の中心Cから所定の距離rは、略20cmが好ましい。
請求項（抜粋）：
(1)風向風速温度演算部204の測定プローブ200の中心Cから所定の距離r以内の位置に、パーティクルカウンタ104の空気吸引口100を設置するステップと、(2)上記測定プローブ200を用いた風向・風速・温度測定と、上記空気吸引口100を用いた空気中の微粒子測定とを連続して繰り返し行うステップとから成ることを特徴とする風向・風速・温度と空気中の微粒子測定方法。
IPC (4件)：
G01D 21/02
, G01N 15/14
, G01P 13/02
, G06M 11/00
