特許

J-GLOBAL ID：200903093319671742

形状計測装置、検査装置及び製品製造方法

発明者： 小林 茂樹
出願人/特許権者： 小林 茂樹
代理人 (1件)： 中村 茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096368
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306023
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】 物体の表面形状を迅速、低コストで計測する。【構成】 予めメモリ9に鏡面反射性の程度に対応する表面反射指標に応じた受光出力対表面角度関数群を記憶しておき、投光素子1から投光され、計測対象物5で反射された光を複数の受光素子3a、3b、3cで受け、その実測出力関数から計測対象の表面反射指標をCPU7及び計測演算ユニットで算出し、この算出値から前記関数群の1つを選択し、実測関数を選択された関数に照合して、計測対象の表面角度を算出し、計測対象の三次元表面形状を計測する。

請求項（抜粋）：

計測対象に投光する投光手段と、計測対象からの反射光を検出し、前記投光手段とともに三次元形状計測のための表面角度検出手段を形成する受光手段と、鏡面反射性の程度に対応する表面反射指標に応じた前記受光手段出力値対表面角度関数群を予め記憶するメモリ手段と、前記受光手段の実測出力「曲線」または「波形」から計測対象の表面反射指標を算出する演算手段と、その算出値から前記関数群の中の1関数を選択する選択手段と、選択された前記関数に照合して計測対象の表面角度を算出する演算手段とを備え、計測対象の表面形状を計測する形状計測装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G06T 7/00 ,  G06T 1/00

FI (3件)：

G06F 15/62 400 ,  G06F 15/62 415 ,  G06F 15/64 M