特許
J-GLOBAL ID:200903093319735074

X線検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 青木 秀實 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-086247
公開番号(公開出願番号):特開平8-254507
出願日: 1995年03月16日
公開日(公表日): 1996年10月01日
要約:
【要約】【目的】 X線検査で検査される被検体の肉厚が場所によって異なる場合に、透過光を均一にするため被検体に肉厚補正治具を装着して被検体の欠陥、その位置を検査するが、肉厚補正治具による欠陥か、被検体そのものにある欠陥が分らないことがあり、肉厚補正治具の欠陥の有無、有る場合はその位置を確認して被検体の欠陥を確認する。【構成】 肉厚補正治具を装着して被検体の欠陥、その位置をX線検査する前、又は後に肉厚補正治具においてX線より長い波長の光を透過、散乱、吸収、屈折させて欠陥の有無、有る場合はその位置を確認して、前記肉厚補正治具の欠陥や位置と、前記X線で検出された被検体の欠陥やその位置を併せみて、被検体の欠陥や位置を確認する。
請求項(抜粋):
X線検査で検査される被検体の肉厚が場所によって異なる場合に透過するX線量を均一にするため該被検体に装着される肉厚補正治具においてX線より波長の長い光を透過、散乱、吸収、屈折をさせて欠陥の検査を行って、欠陥の有無や位置を検査し、肉厚補正治具装着にてX線で検査された被検体の欠陥や位置に、前記肉厚補正治具の欠陥や位置を併せみて、前記被検体の欠陥や位置を確認することを特徴とするX線検査方法。
IPC (2件):
G01N 23/16 ,  G01B 15/00
FI (2件):
G01N 23/16 ,  G01B 15/00 A

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