特許
J-GLOBAL ID:200903093322958700

露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 淳 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-082762
公開番号(公開出願番号):特開平9-274256
出願日: 1996年04月04日
公開日(公表日): 1997年10月21日
要約:
【要約】【課題】 原稿から反射した拡散光及び直接光が感光材料に照射されない前記照射手段及び前記結像レンズの少なくとも一方の位置決めの自由度を向上させ、かつゴースト像が発生しないように入射角を出来るだけ小さくすることにより照射領域を狭めて結像レンズで受光する光量を増大させる。【解決手段】光源から照射された原稿42の被照射範囲内の光源の仮想発光点PE に最も近い点P1 で反射した直接光の原稿面42Aに対する最大角θx (=π/2-(θi S )+ψW )が、点P1 で拡散しかつロッドレンズアレイ54の光が入射する原稿面42A側の面の仮想発光点PE に最も遠い点P2 に入射する拡散光の原稿面42Aに対する角度θy より小さくなのように、光源及び結像レンズの少なくとも一方を配置する。
請求項(抜粋):
原稿に斜め方向から光を照射する照射手段と、前記原稿から反射した光を感光材料に結像させる結像レンズと、を備えた露光装置であって、前記照射手段により照射された原稿の被照射領域内の前記照射手段に最も近い第1の点から反射した直接光の前記原稿面に対する最大角が、前記結像レンズの光が入射する前記原稿側の面内の前記照射手段から最も遠い第2の点と前記第1の点とを結ぶ直線と前記原稿面との成す角より小さくなると共に、前記被照射領域内の前記照射手段に最も遠い第3の点から反射した直接光の前記原稿面に対する最大角が、前記第2の点と前記第3の点とを結ぶ直線と前記原稿面との成す角より小さくなるように、前記照射手段及び前記結像レンズの少なくとも一方を配置した露光装置。
IPC (3件):
G03B 27/32 ,  G03B 27/02 ,  G03B 27/50
FI (3件):
G03B 27/32 A ,  G03B 27/02 F ,  G03B 27/50 A

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