特許

J-GLOBAL ID：200903093328450520

光部品およびその製造方法

発明者： 藤田 大吾 ,  細谷 英行 ,  佐久間 健
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-316051
公開番号（公開出願番号）：特開2003-121888
出願日： 2001年10月12日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 シリコン製の基板上に積層されたコアおよびクラッドが、剥離することがない光部品およびその製造方法を提供する。【解決手段】 コア12とコア12の周囲を囲むように形成されたクラッド層13とが積層された基板11を備え、クラッド層13の上面の外周端が導電体薄膜15で縁取られている光部品。シリコン製の基板上に下部クラッド層を形成する工程と、下部クラッド層の上面にコア12を形成する工程と、下部クラッド層およびコア12の上に上部クラッド層を形成し、下部クラッド層と上部クラッド層が一体化したクラッド層13を形成する工程と、クラッド層13の上面に、導電体薄膜15からなる縁取りを形成して、光部品チップを形成する工程と、光部品チップを切り出す工程とを備えた光部品の製造方法。

請求項（抜粋）：

コアと該コアの周囲を囲むように形成されたクラッド層とが積層された基板を備えた光部品であって、前記クラッド層の上面の外周端が導電体薄膜で縁取られていることを特徴とする光部品。

IPC (4件)：

G02F 1/313 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/13 ,  G02F 1/01

FI (4件)：

G02F 1/313 ,  G02F 1/01 C ,  G02B 6/12 H ,  G02B 6/12 M

Fターム (33件)：

2H047KA04 ,  2H047KA12 ,  2H047KA13 ,  2H047KB09 ,  2H047LA15 ,  2H047NA01 ,  2H047PA02 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047PA28 ,  2H047QA01 ,  2H047QA02 ,  2H047QA05 ,  2H047RA08 ,  2H047TA41 ,  2H079AA06 ,  2H079AA12 ,  2H079BA01 ,  2H079CA05 ,  2H079DA07 ,  2H079DA22 ,  2H079EA05 ,  2H079EB27 ,  2H079GA05 ,  2K002AB04 ,  2K002AB05 ,  2K002BA13 ,  2K002CA06 ,  2K002CA22 ,  2K002DA08 ,  2K002EA14 ,  2K002EA16 ,  2K002HA11

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 光導波路およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-068388   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平2-205009
  

審査官引用 (3件)

• 光導波路およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-068388   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平2-205009
  
• 特開平2-205009