特許
J-GLOBAL ID：200903093330215473
位置合わせ装置及びレーザ加工装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-176305
公開番号（公開出願番号）：特開平5-023880
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】 試料上の被測定物に対して正確に合焦させる。前記被測定物例えば、その上部に形成された酸化膜等の厚さやそり等の影響なしに被加工位置を照射位置に正確に合わせをしてレーザ加工をする。【構成】 試料Wのヒューズと同じ高さとなる、設計データから定まる合焦基準位置に対して、加工ブロックのスクライブライン上の測定位置におけるピントずれ量を検知して、このずれ量に基づいて駆動手段6によりZステージ8を動作させて合焦し、合焦状態を維持したままで、移動手段4でヒューズを二次元的に位置合わせするものである。
請求項（抜粋）：
設計データで定まる試料の所定位置を光学系に対して、三次元的に位置合わせする位置制御手段を有する光学装置において、前記位置制御手段は、前記所定位置と同じ高さとなる、設計データから定まる合焦基準位置を前記光学系に対して合焦する合焦手段と、前記合焦手段による合焦状態を維持したままで、前記所定位置を前記合焦方向に直交する平面内で移動して、前記所定位置を二次元的に位置合わせする移動手段と、を備えたことを特徴とする位置合わせ装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
