高い反応速度を達成するための改良された方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-508495
公開番号（公開出願番号）：特表平8-504929
出願日： 1993年08月13日
公開日（公表日）： 1996年05月28日
要約：

【要約】化学収着反応プロセスが、錯化合物反応生成物の体積膨張が制限され、各々30分未満の半サイクル反応期間で、および/または約15mm未満の最大平均質量拡散経路長、および/または1.5mm未満の最大熱拡散経路長を有する反応チャンバ内の条件下で行なわれる。

請求項（抜粋）：

化学収着反応プロセスであって、錯化合物に極性を有する気体を繰返し交互に吸着および脱着させるステップを特徴とし、前記錯化合物は、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属、亜鉛、カドミウム、スズ、アルミニウム、ホウフッ化ナトリウム、または複金属塩化物のハロゲン化物、硝酸塩、亜硝酸塩、シュウ酸塩、過塩素酸塩、硫酸塩または亜硫酸塩を含む金属塩に前記極性を有する気体を吸着させることによって形成され、前記プロセスはさらに、前記化学収着反応中の前記錯化合物の体積膨張を制限するステップと、それぞれ約30分未満の吸着および脱着反応サイクル時間で前記プロセスを行なうステップとを特徴とする、化学収着反応プロセス。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特表平4-504224
特開昭62-091763
特表平2-500384

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