電子放出素子、該電子放出素子を用いた電子源、該電子源を用いた画像形成装置及び該電子放出素子の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：豊田善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-166696
公開番号（公開出願番号）：特開平9-330647
出願日： 1996年06月07日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】高品位画像形成装置を実現し得る電子ビーム源としての電子放出素子を提供する。【解決手段】基板1上の素子電極2,3間に、電子放出部5を有する導電性膜4を備える電子放出素子において、電子放出部5の一部が、化学的気相成長法により形成された金属窒化物膜10により被覆されていることを特徴とする。【効果】安定な電子放出特性と高い電子放出効率を有する素子となる。

請求項（抜粋）：

対向する一対の電極間に、電子放出部を有する導電性膜を備える電子放出素子において、前記電子放出部の少なくとも一部が、化学的気相成長法により形成された金属窒化物を主成分とする膜で被覆されていることを特徴とする電子放出素子。

IPC (3件)：

H01J 1/30 , H01J 9/02 , H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 1/30 B , H01J 9/02 B , H01J 31/12 C

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