特許

J-GLOBAL ID：200903093343169896

熱式空気流量センサ

発明者： 山田 雅通 ,  内山 薫 ,  渡辺 泉 ,  中田 圭一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-246475
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083580
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】空気温度依存及び機械強度を改善した熱式空気流量センサを低コストで提供する。【解決手段】半導体基板上に電気絶縁膜を介して少なくも発熱抵抗体及び測温抵抗体を形成して、発熱抵抗体及び測温抵抗体をドープ処理された多結晶ケイ素(Si)半導体薄膜で構成し、発熱抵抗体の不純物濃度を3×1019(cm-3)以上で且つ測温抵抗体の不純物濃度より大きくし、更に、電気絶縁膜下面の空洞上の電気絶縁膜を半導体基板に所定の深さに不純物をドープ処理され空洞周辺部から突き出た梁状の支持部により支持補強したことにより、空気温度依存及び機械強度を改善した熱式空気流量センサ。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に電気絶縁膜を介して少なくも発熱抵抗体及び測温抵抗体を形成して空気流量を計測する熱式空気流量センサにおいて、前記発熱抵抗体及び測温抵抗体をドープ処理された多結晶ケイ素(Si)半導体薄膜で構成し、且つ前記発熱抵抗体の不純物濃度を前記測温抵抗体の不純物濃度より大きくしたことを特徴とする熱式空気流量センサ。