特許
J-GLOBAL ID：200903093344720081
投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023744
公開番号（公開出願番号）：特開平5-226226
出願日： 1992年02月10日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 ハレーションによるレジスト寸法精度の劣化を防止する。【構成】 偏光子21が光源11〜13から発した照明光を直線偏光に変換し、ウエハ20の表面の段差に伴う斜面に対してP偏光のみで露光を行う。
請求項（抜粋）：
光源と、前記光源から発した照明光を回路パターンが形成されたマスク上に照射させる集光レンズと、マスクを通過した照明光をウエハ表面に集光させる投影レンズと、ウエハ表面に生じている段差に伴う斜面に対してP偏光のみが照射されるように照明光を直線偏光に変換する偏光子とを備えたことを特徴とする投影露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G02B 26/00
