特許
J-GLOBAL ID：200903093345967498
微動装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-029300
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224389
出願日： 1992年02月17日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 液晶シャッタをXY方向に複数回微動させて露光し、1つの連続した画像を形成する露光方法において、液晶シャッタを移動させる微動装置の構造を簡略化し低コスト化すると同時に、安定した位置決め精度を確保する。【構成】 液晶シャッタを保持する微動装置5の基台29を1枚の板から構成し、微動装置5のXY各方向の変位を平行リンク9,11で支持し 変位発生手段13,14で発生する変位を変位拡大手段15,16で伝達することによりXY各方向に微動させる。
請求項（抜粋）：
液晶シャッタをXY方向に微動させる微動装置において、その基台を1枚の板から構成したことを特徴とする微動装置。
IPC (3件)：
G03F 1/00
, G03B 27/32
, G03F 7/20
