特許

J-GLOBAL ID：200903093346434361

圧力式流量制御装置

発明者： 西野 功二 ,  池田 信一 ,  森本 明弘 ,  皆見 幸男 ,  川田 幸司 ,  土肥 亮介 ,  福田 浩幸
出願人/特許権者： 株式会社フジキン
代理人 (1件)： 杉本 丈夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-144722
公開番号（公開出願番号）：特開平8-338546
出願日： 1995年06月12日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】【目的】 流量制御装置の制御精度を高めると共に、装置の小形化、低コスト化を達成する。【構成】 オリフィス上流側圧力を下流側圧力の約2倍以上に保持して流体の流量制御を行なう圧力式流量制御装置に於いて、オリフィスと,その上流側に設けたコントロール弁と,コントロール弁とオリフィス間に設けた圧力検出器と,圧力検出器の検出圧力P1 から流量をQc=KP1 (但しKは定数)として演算すると共に、流量指令信号Qsと演算流量Qcとの差を制御信号Qyとしてコントロール弁の駆動部へ出力する演算制御装置とから装置を構成し、コントロール弁を開閉して圧力P1を調整し、オリフィス下流側流量を制御する。

請求項（抜粋）：

オリフィスの上流側圧力P1 を下流側圧力P2 の約2倍以上に保持した状態で流体の流量制御を行なう圧力式流量制御装置に於いて、オリフィス(5)と,オリフィス(5)の上流側に設けたコントロール弁(2)と,コントロール弁(2)とオリフィス(5)間に設けた圧力検出器(3)と,圧力検出器(3)の検出圧力P1 から流量QcをQc=KP1 (但しKは定数)として演算すると共に、流量指令信号Qsと前記演算した流量信号Qcとの差を制御信号Qyとして前記コントロール弁(2)の駆動部(14)へ出力する演算制御装置(6)とから構成され、コントロール弁(2)の開閉によりオリフィス上流側圧力P1 を調整し、オリフィス下流側流量を制御することを特徴とする圧力式流量制御装置。