特許

J-GLOBAL ID：200903093350727152

感光性ポリイミド前駆体組成物、およびそれを用いたパターン製造方法

発明者： 日高 敬浩 ,  小島 康則
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-019418
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209613
出願日： 1998年01月30日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】【課題】 有機溶剤のみならずアルカリ水溶液による現像が可能であり、優れた感光特性を有し、低露光量でも形状に優れる良好なパターンを与える感光性ポリイミド前駆体組成物を提供し、併せてかかる組成物を利用した、耐熱性、耐薬品性を示すポリイミドパターンの製造方法を提供する。【解決手段】 ポリイミド前駆体、クマリン化合物及びヘキサアリールビスイミダゾール化合物を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物を用いて被膜を形成し、該被膜にフォトマスクを介して光を照射し、該光照射後の被膜を有機溶媒又は塩基性水溶液を用いて現像する。

請求項（抜粋）：

(A) 感光性基を有するポリイミド前駆体、(B) 光開始剤系として(b1) 一般式(I)で表わされるクマリン化合物、【化1】(式中R11及びR12は各々独立に水素原子またはアルキル基を示し、R13及びR14は各々独立に水素原子またはアルキル基を示すか、結合して炭素原子数4〜22の環を形成する)及び(b2) 一般式(II)で表わされるヘキサアリールビスイミダゾール化合物、【化2】(式中、Xはアルキル基、ハロゲン原子、トリハロメチル基、ニトロ基、アルコキシ基、またはCOR′,COOR′′(R′,R′′はアルキル基)で表わされる置換基を示す)を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (6件)：

C08L 79/08 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/15 ,  C08K 5/3445 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (7件)：

C08L 79/08 A ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/15 ,  C08K 5/3445 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R