特許
J-GLOBAL ID：200903093352263978
ガス精製機
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-024231
公開番号（公開出願番号）：特開平8-222493
出願日： 1995年02月13日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【目的】精製筒の能力を最大限に使用して再生に要する電力を低減し、切換えに要する作業量を節約したガス精製機を提供する。【構成】原料ガスを導入する流入主管1から流入する原料ガスを第1、第2精製筒3a、3bの何れかに供給する第1、第2流入分岐管2a2bと、第1、第2精製筒3a、3bからの精製ガスをそれぞれ流出させる第1、第2流出管4a、4bからの精製ガスを流出させる流出主管5と、第1、第2流入分岐管2a、2bのそれぞれに設置した第1、第2流入側バルブ6a、6bと、第1、第2流出管4a、4bのそれぞれに設置した第1、第2流出側バルブ7a、7bと、流入主管1に流入する原料ガスの流量を積算する積算流量計11の積算流量に応じて第1精製筒3aと第2精製筒3bを切り換える。
請求項（抜粋）：
第1精製筒と第2精製筒とを交互に使用して原料ガスを精製するガス精製機において、原料ガスを導入する流入主管から流入する原料ガスを前記第1精製筒と第2精製筒のそれぞれに供給する第1流入分岐管および第2流入分岐管と、前記第1精製筒と第2精製筒のそれぞれからの精製ガスを流出させる第1流出管および第2流出管と、前記第1流出管および第2流出管の何れかからの精製ガスを流出させる流出主管と、前記第1流入分岐管および第2流入分岐管のそれぞれに設置した第1流入側バルブおよび第2流入側バルブと、前記第1流出管および第2流出管のそれぞれに設置した第1流出側バルブおよび第2流出側バルブと、前記流入主管に流入する原料ガスの流量を積算する積算流量計とを備え、前記積算流量計の積算流量に応じて前記第1精製筒と第2精製筒を切り換えることを特徴とするガス精製機。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 Z
, C30B 25/14
