特許
J-GLOBAL ID：200903093355841239
生産ラインの構成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-011477
公開番号（公開出願番号）：特開2000-216213
出願日： 1999年01月20日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 あるベイに配置されている洗浄装置の搬入口から基板を搬入し複数の処理室で処理をし、隣のベイの搬出口に基板を搬送する貫通型洗浄装置と、あるベイのサブ通路から隣のベイのサブ通路まで基板を搬送するベイブリッジを用いて、複数のベイをつなげ、複数ベイにまたがって連続して作業できる工程を増加させる方法を提供する。【解決手段】 洗浄装置は入口が装置の正面に対して左にあり、右に出口があることを利用して、あるベイから洗浄の処理をして隣のベイに基板を運ぶ。また、ベイ間の移動は、従来、工程間搬送を経由していたが、基板の搬送路、保管棚、入出庫口から保管棚に基板を運ぶ搬送装置で構成されている搬送装置付き保管棚(ベイブリッジ)を導入することにより、工程間搬送を経由せずにベイ間移動を可能とした。
請求項（抜粋）：
基板の処理装置と搬送装置により生産ラインを構成する方法において、搬送機構と棚と両側に入出庫口を付けて構成されている基板の処理装置を、2ベイにまたがって、該処理装置の片方の入出庫口を一方のベイのサブ通路側に配置し、該処理装置の反対側の入出庫口を他方のベイのサブ通路側に配置し、前記処理装置の搬送機構により、基板を前記一方のベイから、前記他方のベイへ搬送することを特徴とする生産ラインの構成方法。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/304 648
H01L 21/68 A
, H01L 21/304 648 J
5F031DA03
, 5F031DA17
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031MA09
, 5F031MA23
