特許

J-GLOBAL ID：200903093357536522

フィルム剥離装置の空気浄化装置

発明者： 森 康明
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
代理人 (1件)： 小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-107222
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292145
出願日： 1996年04月26日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 フィルム剥離装置2の雰囲気を、所望のとおりの著しく高いクリーニング度に維持すること。【解決手段】 入口側搬送部ハウジング10、剥離部ハウジング12、出口側搬送部ハウジング14を備え、基板の搬送径路PLがハウジングの各々を貫通して実質上水平に延在し、かつ実質上外気と遮断されたクリーニングルーム8内に配置されたフィルム剥離装置2の空気浄化装置。吸気フィルタ30、34と、排気フィルタ36、37と、外気を吸気フィルタ30、34を介して吸引し排気フィルタ36、37を介して排気するシロッコファン46、56とがフィルム剥離装置2に備えられている。

請求項（抜粋）：

入口側搬送部ハウジングと、該入口側搬送部ハウジングの下流側に連結された剥離部ハウジングと、該剥離部ハウジングの下流側に連結された出口側搬送部ハウジングとを備え、基板の搬送径路が該ハウジングの各々を貫通して実質上水平に延在し、かつ実質上外気と遮断されたクリーニングルーム内に配置されたフィルム剥離装置の空気浄化装置において、吸気フィルタ手段と、排気フィルタ手段と、外気を該吸気フィルタ手段を介して吸引し該排気フィルタを介して排気する吸引ポンプ手段とからなる空気浄化手段が該フィルム剥離装置に備えられている、ことを特徴とするフィルム剥離装置の空気浄化装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-133643
  
• 特開昭62-056243
  
• 特開昭63-133643
  
• 特開昭62-056243