特許
J-GLOBAL ID：200903093359625190
走査電子顕微鏡における像撮影方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-121761
公開番号（公開出願番号）：特開平5-325860
出願日： 1992年05月14日
公開日（公表日）： 1993年12月10日
要約：
【要約】【目的】 電子ビーム照射による加熱によってダメージを受けやすい試料であっても、精密な試料像の撮影を行うことができる走査電子顕微鏡における像撮影方法を実現する。【構成】 写真撮影すべき試料部分を電子ビーム光軸上に配置した後、カーソル信号発生器10からカーソル信号を発生させ、陰極線管9に像信号と共に供給する。この結果、陰極線管9の画面上には、例えば4本のカーソルが走査像に重畳して表示される。オペレータは、写真撮影すべき像部分を4本のカーソルで囲むように発生器10を制御する。写真撮影モードにおいては、走査信号発生回路6からの走査信号は4本のカーソルで囲まれた領域に対応した試料部分では、写真撮影に適した比較的ゆっくりとした走査速度とされ、4本のカーソルで囲まれた領域以外の領域はラピッドスキャニングの走査速度に維持される。
請求項（抜粋）：
試料上で電子ビームを走査し、電子ビーム照射により得られた試料からの信号を試料上の電子ビーム走査に同期した陰極線管上に供給し、試料像を表示するようにした走査電子顕微鏡において、比較的速い走査速度で試料上の電子ビーム走査を行い、この走査により試料から得られた信号に基づいて陰極線管上に試料像を表示し、この試料像に基づいて特定領域の選択を行い、選択された領域の試料部分でのみ比較的遅い走査速度で電子ビーム走査を行い、この走査により試料から得られた信号に基づいて陰極線管上に試料像を表示し、この試料像の写真撮影を行うようにした走査電子顕微鏡における像撮影方法。
IPC (2件)：
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