特許

J-GLOBAL ID：200903093361535522

超音波洗浄装置

発明者： 矢野 正彦
出願人/特許権者： スズキ株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-129506
公開番号（公開出願番号）：特開平8-299926
出願日： 1995年04月28日
公開日（公表日）： 1996年11月19日
要約：

【要約】【目的】洗浄液およびすすぎ水を洗浄槽から残留すること無く排出する。【構成】洗浄槽10と、この洗浄槽10に超音波振動を伝達する超音波振動子25と、洗浄液を貯留する洗浄液タンク31と、洗浄液タンク31と洗浄槽10との間に配設した洗浄液連絡用配管34および洗浄液流動付勢手段37と、すすぎ水を貯留するすすぎ水タンク41と、すすぎ水タンク41と洗浄槽10との間に配設したすすぎ水連絡用配管44およびすすぎ水流動付勢手段47と、洗浄槽10に連絡流路18を介して併設されると共に,洗浄液連絡用配管34とすすぎ水連絡用配管34とを開閉弁36,46を介して連結されたヘッダ領域17とを有し、ヘッダ領域17の内底面17Aと連絡流路18の内底面18Aと洗浄液連絡用配管34の内底面34Aとすすぎ水連絡用配管44の内底面44Aとを一様に同じ高さに且つ水平に設定した。

請求項（抜粋）：

底面部の内底面が水平な洗浄槽と、この洗浄槽の底面部に下方から当接し超音波振動を発生する超音波振動子と、予め洗浄液を所定量貯留する洗浄液タンクと、この洗浄液タンクと前記洗浄槽との間で前記洗浄液を循環する洗浄液循環系と、予めすすぎ水を所定量貯留するすすぎ水タンクと、このすすぎ水タンクと前記洗浄槽との間で前記すすぎ水を循環するすすぎ水循環系とを有し、前記洗浄液循環系を、洗浄液連絡用配管と,この洗浄液連絡用配管に沿った前記洗浄液の流動を付勢する洗浄液流動付勢手段とから構成すると共に、前記すすぎ水循環系を、すすぎ水連絡用配管と,このすすぎ水連絡用配管に沿った前記すすぎ水の流動を付勢するすすぎ水流動付勢手段とから構成し、前記洗浄槽に連絡流路を介して水平な底面部の内底面を有するヘッダ領域を併設し、このヘッダ領域の内底面と前記連絡流路の内底面とを一様に前記洗浄槽の内底面と同じ高さに設定し、前記洗浄液連絡用配管と前記すすぎ水連絡用配管とを,それぞれ前記ヘッダ領域の水平方向から,開閉弁を介して連結させると共に、当該ヘッダ領域の内底面と前記各配管内部の内底面の高さとが一様となるように設定したことを特徴とする超音波洗浄装置。