特許

J-GLOBAL ID：200903093362148336

搬送具

発明者： 坪水 信吾
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 藤島 洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-002815
公開番号（公開出願番号）：特開平10-199963
出願日： 1997年01月10日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：

【要約】【課題】 処理液の持ち出しを少なくすることができる搬送具を提供する。【解決手段】 搬送具を一対の挟持部材10により構成する。各挟持部材10の中央には開口11をそれぞれ形成し、半導体基板Mの周縁部を挿入して両側から挟持できるようにする。各挟持部材10の底部には互いに傾斜の向きが異なる2つの傾斜面13,14をそれぞれ形成する。この2つの傾斜面13,14は中央に向かって下方に突出させ、1つの頂角部15を形成する。これにより、この搬送具を処理液の中に浸漬しても、搬送具に付着した処理液は頂角部15に集まり、大きな液滴となって下方に落下する。よって、搬送具による処理液の持ち出しを防止することができる。

請求項（抜粋）：

被処理物を保持しつつ処理液の中に浸漬させる搬送具であって、底部に少なくとも1つの傾斜面を備えたことを特徴とする搬送具。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/306 J

引用特許：

審査官引用 (3件)

• リライトカード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-042321   出願人：東急車輛製造株式会社
• 反復印字記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-298837   出願人：大日本印刷株式会社
• 磁気カード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-276330   出願人：株式会社トーキン