特許

J-GLOBAL ID：200903093366276797

流体分解器

発明者： 門谷 皖一 ,  宮本 俊輔
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 宇都宮 正明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-274730
公開番号（公開出願番号）：特開2002-093712
出願日： 2000年09月11日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：

【要約】【課題】 ウエハに悪影響をあたえることなく、光エネルギを有効に利用して原料ガス等の分解・活性化を行わせる流体分解器を提供する。【解決手段】 流体分解器1は、原料ガスを導入及び排出する管25が形成された大径ガラス管7と、大径ガラス管7の内側に配置され、両端が開放された中空ガラス管8と、中空ガラス管8の両端を貫通して配置されたエキシマランプ5とを具備する。大径ガラス管7の外周には反射部材が形成されている。

請求項（抜粋）：

流体の流入孔と流出孔とが形成された第1の中空管と、前記第1の中空管の内壁との間に空間を有して配置され、両端が開放された透明な第2の中空管と、前記第2の中空管の内壁との間に空間を有して配置されたランプと、前記第1の中空管の内周又は外周に形成された反射部材と、を具備する流体分解器。

IPC (3件)：

H01L 21/205 ,  B01J 19/12 ,  C23C 16/48

FI (3件)：

H01L 21/205 ,  B01J 19/12 B ,  C23C 16/48

Fターム (34件)：

4G075AA03 ,  4G075AA13 ,  4G075BA01 ,  4G075BA05 ,  4G075BC04 ,  4G075BD01 ,  4G075CA03 ,  4G075CA33 ,  4G075CA65 ,  4G075DA01 ,  4G075DA02 ,  4G075EA06 ,  4G075EB27 ,  4G075EB33 ,  4G075EC06 ,  4G075FB02 ,  4G075FB06 ,  4G075FC04 ,  4K030AA07 ,  4K030AA18 ,  4K030EA14 ,  4K030FA08 ,  4K030KA49 ,  4K030LA15 ,  5F045AA12 ,  5F045AC01 ,  5F045AC15 ,  5F045DP03 ,  5F045DP19 ,  5F045EE04 ,  5F045EE08 ,  5F045EE17 ,  5F045EJ01 ,  5F045EJ10