放電ランプ用の放電管体の成膜方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：長尾貞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-369268
公開番号（公開出願番号）：特開2002-134011
出願日： 2000年10月27日
公開日（公表日）： 2002年05月10日
要約：

【要約】[課題] 中空放電管体1に紫外線を照射しながら、同時にターゲット3をスパッタ若しくは蒸発させ、低級結合分子を紫外線照射で分解し、必要とされる所定の薄膜分子のみで放電管体1の内壁に成膜することを可能にする。[解決手段] 放電管体1の内壁面に形成されるべき膜の元素と同一元素を含むターゲット3を先端に具備したスパッタ電極2を排気管12から挿入し、放電管体1の内側所定位置に安定的に位置させる。次に、紫外線照射装置11より紫外線を放電管体1に照射しながら、スパッタ電極2と円筒形の網状外部電極4との間に高周波電圧を印加し、スパッタリング法により放電管体1の内壁面に所定の薄膜を結合させて成膜する。紫外線照射で、スパッタにより生成された低級結合分子は分解され、薄膜を構成する窒素原子は石英ガラス製放電管体1の内壁表面の酸化ケイ素の網目構造に取り込まれて共有結合し、強固に成膜する。

請求項（抜粋）：

放電ランプ用の放電管体の内壁面に形成されるべき膜の元素と同一元素を含むターゲットを先端部に備えたスパッタ電極を、少なくとも1以上の排気管を有する中空放電管体の前記排気管のうちいずれか1の排気管の外端開口から挿入して前記中空放電管体内側所定位置に安定的に配置し、前記中空放電管体の外側には前記スパッタ電極と所定距離を有して離隔すると共にこの中空放電管体の全長に亘り、この中空放電管体を囲むように円筒形の網状外部電極を設け、前記中空放電管体の外側方からこの中空放電管体に紫外線を照射しながら、前記スパッタ電極と前記網状外部電極との間に直流電圧又は高周波電圧を印加してグロー放電を発生させ、前記ターゲットから飛散する金属分子をスパッタリング法により前記中空放電管体内壁面に付着させ、前記飛散金属分子のうち低級結合分子を紫外線照射で分解し、前記中空放電管体内壁面に所定の膜を強固に結合させて成膜するようにしたことを特徴とする放電ランプ用の放電管体の成膜方法。

IPC (4件)：

H01J 9/20 , C23C 14/24 , C23C 14/28 , C23C 14/34

FI (4件)：

H01J 9/20 B , C23C 14/24 S , C23C 14/28 , C23C 14/34 S

Fターム (12件)：

4K029AA08 , 4K029AA27 , 4K029BA56 , 4K029BA58 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029CA05 , 4K029CA15 , 4K029DB20 , 4K029DC27 , 5C028BB01 , 5C028BB11

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