欠陥検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石戸久子 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-185187
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005846
出願日： 2000年06月20日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】【課題】同色系の欠陥や淡い色の欠陥など、従来検出が困難であった欠陥を検出することができる欠陥検査装置とする。【解決手段】パターンマッチング方式を用いた欠陥検出において、R、B、G成分についてR比較部、B比較部及びG比較部においてそれぞれ行われると同時に、グレー比較部において、R、B、G成分を合成したグレー階調について、面検査が行われる。面検査は、検査画像及び基準画像それぞれについて、着目する画素を中心とする3×3の画素で平均化したもの同士を比較し、濃度差が設定閾値よりも大きい場合に、検査画素と対応基準画素とがマッチングしていないと判定し、検査画素が欠陥画素であると判断する。

請求項（抜粋）：

被検査物をカラー撮像する撮像装置と、該撮像装置の出力から色成分毎に検査画像を生成する画像生成回路と、色成分毎に生成された検査画像と色成分毎に記憶された基準画像との比較を行って欠陥画素を検出する色成分毎比較部を備えた欠陥検出回路と、を備え、被検査物のパターンの欠陥を検出する欠陥検査装置において、該欠陥検出回路は、さらに、色成分毎の検査画像の対応する画素同士の色成分階調を合成してグレー階調の検査画素を生成すると共に、色成分毎の基準画像の対応する画素同士の色成分階調を合成してグレー階調の基準画素を生成し、グレー階調の着目する検査画素に対して周囲の検査画素で平均化したものと、グレー階調の基準画像の対応基準画素に対して周囲の基準画素で平均化したものとの比較を行い欠陥画素を検出するグレー比較部を備え、前記色成分毎比較部及びグレー比較部で検出された欠陥画素に基づいて被検査物内の欠陥の有無を判定することを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/898 , G01B 11/30 , G06T 1/00 310

FI (3件)：

G01N 21/898 Z , G01B 11/30 A , G06T 1/00 310 A

Fターム (50件)：

2F065AA49 , 2F065BB02 , 2F065DD03 , 2F065DD04 , 2F065FF04 , 2F065FF67 , 2F065GG01 , 2F065GG14 , 2F065GG16 , 2F065HH02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ26 , 2F065MM03 , 2F065QQ08 , 2F065QQ13 , 2F065QQ24 , 2F065QQ26 , 2F065QQ27 , 2F065QQ37 , 2F065QQ39 , 2F065SS13 , 2F065UU05 , 2G051AA32 , 2G051AA41 , 2G051AB07 , 2G051AB11 , 2G051AC01 , 2G051BA01 , 2G051CA03 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051DA06 , 2G051EA04 , 2G051EA11 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EA19 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC03 , 2G051EC06 , 2G051ED08 , 2G051ED13 , 2G051FA03 , 2G051FA04 , 5B057AA12 , 5B057DC22 , 5B057DC33

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