特許

J-GLOBAL ID：200903093377978122

フォトマスク保護用粘着フィルムの製造方法

発明者： 水野上 美徳
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-036359
公開番号（公開出願番号）：特開平9-230580
出願日： 1996年02月23日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】 すぐれた表面剥離性を有し、フォトマスク表面から糊残りせずに剥離でき、生産性のよいフォトマスク保護用粘着フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】 ポリエステルフィルムからなる基材の片面に剥離処理層が設けられ、基材の他の面に粘着剤層及び剥離紙がこの順に積層されてなるフォトマスク保護用粘着フィルムを製造するに際し、基材の一面に粘着剤層及び剥離紙を積層し、その後、基材の裏面に離型剤を塗布する。

請求項（抜粋）：

ポリエステルフィルムからなる基材の片面に剥離処理層が設けられ、基材の他の面に粘着剤層及び剥離紙がこの順に積層されてなるフォトマスク保護用粘着フィルムを製造するに際し、基材の一面に粘着剤層及び剥離紙を積層し、その後、基材の裏面に離型剤を塗布することを特徴とするフォトマスク保護用粘着フィルムの製造方法。

IPC (3件)：

G03F 1/14 ,  C09J 7/02 JKQ ,  C09J 7/02 JKZ

FI (3件)：

G03F 1/14 E ,  C09J 7/02 JKQ ,  C09J 7/02 JKZ

引用特許：

審査官引用 (1件)

• フォトマスク保護用積層粘着フイルム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-256833   出願人：積水化学工業株式会社