特許
J-GLOBAL ID：200903093380046303
粗表面電極を有するトレンチ・キャパシタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
頓宮 孝一 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-304276
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235269
出願日： 1992年11月16日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明の目的は、キャパシタの所定の全体寸法に対して相対的に大きな電荷蓄積容量を有するキャパシタ構造を提供することである。【構成】 集積回路装置内に組み込むのに適したトレンチ・キャパシタ112構造、及びそれを形成するための方法は、キャパシタ電極の1つの粗表面114によって、電極表面積及びキャパシタンスを増加させる。粗表面は、ドープされたポリシリコン層の粒子境界を差分的にエッチングすることによって、または半球状粒子ポリシリコンの直接付着によって電極118を形成することによって達成される。追加のキャパシタンス及び接触面積が、電極付着及び誘電体成長の前にトレンチ112底面をさらにエッチングすることによって得られる。
請求項（抜粋）：
基板の表面に設けられたトレンチ内に形成されたキャパシタにおいて、前記トレンチの内側に形成される粗表面電極を有することを特徴とする前記キャパシタ。
IPC (2件)：
引用特許：
前のページに戻る
