特許
J-GLOBAL ID:200903093381617070

X線回折顕微装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 菅野 中
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-186557
公開番号(公開出願番号):特開平5-027100
出願日: 1991年07月25日
公開日(公表日): 1993年02月05日
要約:
【要約】【目的】 試料自体の重さによるたわみやねじれの発生を防止する。【構成】 X線回折顕微装置の試料保持具は、ダイヤモンド板5を枠6に固定したものである。試料は、ダイヤモンド板5の表面7と枠6の上面8に試料結晶15の表面9と底面10が密着するように置かれる。これによって試料の自重によるたわみやねじれを防止できる。また、ダイヤモンド板5は、X線に対する透過能が非常に高いため、X線の進路を妨げない。
請求項(抜粋):
試料保持具を有し、X線を照射して格子歪を回折位置のずれ、反射率の変化として検出するモノクロメータ結晶を備えた透過型X線回折装置であって、試料保持具は、被測定試料をたてかけるものであり、ダイヤモンド板と枠とを有し、ダイヤモンド板は、被測定試料の表面を密着させてX線を透過させるものであり、枠は、ダイヤモンド板の外縁に取付けられ、ダイヤモンド板に密着させた被測定試料を支えるものであることを特徴とするX線回折顕微装置。
IPC (2件):
G21K 7/00 ,  G01N 1/28

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