特許
J-GLOBAL ID：200903093401544260
水晶振動子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-345531
公開番号（公開出願番号）：特開平11-346137
出願日： 1998年12月04日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：
【要約】【課題】 低コストかつ生産性の高い方法で、信頼性の高い水晶振動子を歩留まりよく製造する。【解決手段】 水晶振動子片21に、クロム膜22、金膜23、アルミニウム膜24を堆積した3層の電極を形成する電極形成工程と、ドライエッチングによって前記水晶振動子片の厚みを減じることによって周波数調整を行う周波数調整工程と、をこの順序で行うようにした。
請求項（抜粋）：
水晶振動子片に電極を形成する電極形成工程と、前記水晶振動子片の厚みを減じることによって周波数調整を行う周波数調整工程と、をこの順序で有することを特徴とする水晶振動子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 3/04 B
, H03H 9/19 A
