特許

J-GLOBAL ID：200903093402323039

塗布装置及び塗布方法

発明者： 松嶋 大輔 ,  重山 昭宏 ,  豊島 範夫 ,  澤田 雅人 ,  佐藤 光
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-275425
公開番号（公開出願番号）：特開2003-080130
出願日： 2001年09月11日
公開日（公表日）： 2003年03月18日
要約：

【要約】【課題】 この発明は基板の板面に液滴を高密度に付着させることができる塗付装置を提供することにある。【解決手段】 基板Wを搬送しながら基板Wの板面にオリフィスから液滴Lを噴射して塗布する塗付装置において、上記基板Wの搬送方向と直交する方向に沿って揺動する揺動アーム8と、この揺動アームの長手方向ほぼ全長にわたって設けられた複数のインクジェット方式のヘッド13と、このヘッドに基板Wの搬送方向と直交する方向に沿って所定間隔で穿設された複数のオリフィスとを具備する。

請求項（抜粋）：

搬送される基板の板面に対してインクジェット方式のヘッドに設けられた複数のオリフィスから液滴を噴射塗布する塗布装置において、上記オリフィスは基板の搬送方向と交差する方向に沿って所定間隔で設けられているとともに、上記ヘッドは上記基板の搬送方向と交差する方向に沿って揺動可能に設けられていることを特徴とする塗付装置。

IPC (6件)：

B05B 13/04 ,  B05B 1/14 ,  B05D 1/26 ,  B05D 7/00 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

B05B 13/04 ,  B05B 1/14 Z ,  B05D 1/26 Z ,  B05D 7/00 H ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 Z

Fターム (44件)：

2H025AA18 ,  2H025AB13 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025EA04 ,  4D075AC07 ,  4D075AC78 ,  4D075AC88 ,  4D075AC92 ,  4D075AC93 ,  4D075AC94 ,  4D075AC99 ,  4D075CA22 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC21 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075EA05 ,  4F033AA14 ,  4F033BA03 ,  4F033CA07 ,  4F033DA01 ,  4F033EA05 ,  4F033JA06 ,  4F033LA01 ,  4F033LA13 ,  4F033NA00 ,  4F035BA03 ,  4F035BA22 ,  4F035BC01 ,  4F035CA02 ,  4F035CA05 ,  4F035CB03 ,  4F035CB13 ,  4F035CB29 ,  4F035CC01 ,  4F035CD03 ,  4F035CD08 ,  4F035CD13 ,  4F035CD16 ,  5F046JA02 ,  5F046JA27