基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福島祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-069455
公開番号（公開出願番号）：特開2004-281617
出願日： 2003年03月14日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：

【課題】重量が要求されずかつ低コスト化が可能なローラを有する基板搬送装置およびそれを備えた基板処理装置を提供する。【解決手段】マグネット円板32、隙間調整円板33および基板支持円板35は搬送ローラ軸31の一端側に取り付けられている。マグネット円板22、隙間調整円板23および基板押え円板24は、上乗せローラ軸21に取り付けられている。マグネット円板32の外周面はマグネット円板22の外周面に対向し、隙間調整円板33の外周面は隙間調整円板23の外周面に対向し、基板支持円板34の外周面は基板押え円板24の外周面に対向する。マグネット円板22とマグネット円板32とは内蔵された磁石の磁力で互いに引き合う。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板を搬送する基板搬送装置であって、基板を支持しつつ回転可能に設けられた第1のローラと、基板を挟んで前記第1のローラに対向するように回転可能に設けられた第2のローラと、前記第1のローラを回転させる回転駆動手段と、前記第1のローラの回転力を前記第2のローラに伝達する回転力伝達手段とを備え、前記回転力伝達手段は、前記第1のローラに設けられ、前記第1のローラと同心の第1の外周面を有する第1の伝達部材と、前記第2のローラに設けられ、前記第2のローラと同心でかつ前記第1の外周面に対向する第2の外周面を有する第2の伝達部材とを含み、前記第1の伝達部材および前記第2の伝達部材は、前記第1の外周面と前記第2の外周面との間で磁力により回転力を伝達することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (9件)：

H01L21/68 , B08B3/02 , B65G13/00 , B65G49/06 , B65G49/07 , G02F1/13 , G02F1/1333 , H01L21/027 , H01L21/304

FI (9件)：

H01L21/68 A , B08B3/02 C , B65G13/00 A , B65G49/06 Z , B65G49/07 B , G02F1/13 101 , G02F1/1333 500 , H01L21/304 648A , H01L21/30 562

Fターム (32件)：

2H088FA21 , 2H088FA30 , 2H088HA01 , 2H088HA02 , 2H088HA03 , 2H088HA04 , 2H088MA20 , 2H090JB02 , 2H090JC07 , 2H090JC19 , 3B201AA02 , 3B201AA03 , 3B201AB02 , 3B201AB14 , 3F033BA06 , 3F033BB02 , 3F033BB04 , 3F033BC02 , 3F033BC05 , 3F033BC06 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031GA53 , 5F031LA11 , 5F031MA23 , 5F031MA24 , 5F046CD01 , 5F046CD05 , 5F046CD06

引用特許：

出願人引用 (3件)

基板表面処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-285380 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開平2-214467
板部材搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-340986 出願人：富士通株式会社

審査官引用 (3件)

基板表面処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-285380 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開平2-214467
板部材搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-340986 出願人：富士通株式会社

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