マスフローコントローラ及びその運転制御方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-084582
公開番号（公開出願番号）：特開平11-154022
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：

【要約】【課題】オーバーシュート、捨てガス、大流量パージ、コンパクト化、開閉制御のタイミングという問題を解決したマスフローコントローラ及びその運転制御方法を提供するものである【解決手段】マスフローコントローラ1の流量制御弁4の下流側に垂直流路15を設け、ここに流路を開閉する遮断弁5または6をマスフローコントローラと同じ本体内に一体的に対向配置したものである。また、センサ流路及びバイパス流路より前にある流入流路12と流量制御弁4より後ろにある流出流路16とを連通する迂回流路71、72を設け、ここに迂回流路を開閉する遮断弁5または6をマスフローコントローラと同じ本体内に一体的に対向配置したものである。

請求項（抜粋）：

流体の流入流路と、この流入流路の下流に設けたバイパス流路およびセンサ流路と、このバイパス流路およびセンサ流路の下流に設けた中間流路と、中間流路の下流に設けた流量制御弁と、この流量制御弁の下流に設けた流出流路と、前記センサ流路の流量を検出する流量センサと、この流量センサの信号により前記流量制御弁を制御する制御回路部と、を有するマスフローコントローラにおいて、前記流量制御弁と流出流路との間に開閉遮断弁を一体的に設けたことを特徴とするマスフローコントローラ。

IPC (4件)：

G05D 7/06 , F16K 7/17 , F16K 31/02 , H01L 21/205

FI (4件)：

G05D 7/06 Z , F16K 7/17 Z , F16K 31/02 A , H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-214117
特開平4-214117
エアーオペレートバルブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-319119 出願人：シーケーディ株式会社

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