特許

J-GLOBAL ID：200903093423276537

擬似位相整合器の製造方法、擬似位相整合器、及び固体レーザ装置

発明者： 河井 斉
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-026045
公開番号（公開出願番号）：特開2004-239959
出願日： 2003年02月03日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：

【課題】波長が200nm以下の紫外光を発生させるために使用することができる擬似位相整合器の製造方法を提供する。【解決手段】QPM結晶から、超精密加工と研磨等により数μm〜50μmの薄板1〜8を作製し、これらを交互に分極が反転するようにして(図の矢印が分極の方向を示す)接合することにより、擬似位相整合器9を作製する。接合方法としては、拡散接合や常温接合で行うことにより、光学的/機械的に安定な接合を行なうことができる。好適なQPM結晶としては、吸収端が200nm以下で機械的/光学的特性に優れたLBO、水晶、LB4があり、この中でも非線形光学定数が最も大きいLBOと低価格な水晶でが特に好適である。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

200nm以下の波長を有する紫外光を発生させるために用いられる擬似位相整合器の製造方法であって、結晶から、当該結晶の分極方向に平行な薄板を製造し、当該薄板を、その結晶の分極方向が180°逆転するように交互に重ね合わせ、重ね合わされた前記薄板同士を接合して一体化することを特徴とする擬似位相整合器の製造方法。

IPC (3件)：

G02F1/37 ,  H01S3/06 ,  H01S3/10

FI (3件)：

G02F1/37 ,  H01S3/06 B ,  H01S3/10 Z

Fターム (13件)：

2K002AB12 ,  2K002BA02 ,  2K002CA02 ,  2K002DA02 ,  2K002FA29 ,  2K002GA04 ,  2K002HA20 ,  5F072AB09 ,  5F072AK06 ,  5F072JJ02 ,  5F072KK12 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR05