特許
J-GLOBAL ID:200903093428505950
光ファイバ干渉計
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 正武 (外7名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-540322
公開番号(公開出願番号):特表2003-515151
出願日: 2000年11月27日
公開日(公表日): 2003年04月22日
要約:
【要約】本発明は、光学測定手段に特徴を有する装置、とりわけ低コヒーレンス反射率計、ならびに光コヒーレンストモグラフィーの一部となる光学干渉計に関する。光学干渉計のサンプリングアーム5および参照アーム7に、対応する各偏光スイッチ9、11が組み込まれ、その結果、ビームスプリッタ3を通って後向きに透過する光放射の偏光方向は、ビームスプリッタ3を通って前向きに透過する光放射の偏光方向に対して直交する。前記ビームスプリッタ3は、偏光感度を有して構成され、これにより、光放射の光源1の光学的出力を高い効率で利用し、最も優れた信号対雑音比を得るようにして各偏光に対するビームスプリッタ3の分割比を設定することが出来るようになる。
請求項(抜粋):
第1の設定方向に直線偏光した光を放射する光源を備え、前記光源は、ビームスプリッタの第1のポートに光学的に結合され、前記ビームスプリッタの第2のポートがサンプリングアームに光学的に結合され、前記ビームスプリッタの第3のポートが、自身の端部に参照ミラーが設けられた参照アームに光学的に結合され、かつ、前記ビームスプリッタの第4のポートに光学的に結合された第1の光検出器を備え、該光検出器の出力は、データ処理部とディスプレイユニットとに接続され、前記ビームスプリッタの分割比は、前記第1の設定方向に直線偏光した光放射に対して3dB以外とされている光学干渉計において、 第1と第2の二つの偏光スイッチを備え、これらの第1と第2の偏光スイッチのそれぞれは、前記第1の設定方向に直線偏光した前記光放射の偏光方向を、前記第1の設定方向に対して直交する第2の設定方向に変換するよう設けられ、この偏光方向は、前記光放射が前向きおよび後向きに前記偏光スイッチを通過することによって変換され、前記偏光スイッチの一方は、前記ビームスプリッタの後側のサンプリングアーム内に設置されるとともに、前記偏光スイッチの他方は、前記ビームスプリッタと前記参照ミラーとの間に、前記参照アーム内に設置され、前記ビームスプリッタは、偏光方向に有感に設けられていることを特徴とする光学干渉計。
IPC (3件):
G01N 21/17 620
, G01N 21/17 610
, G01B 9/02
FI (3件):
G01N 21/17 620
, G01N 21/17 610
, G01B 9/02
Fターム (24件):
2F064CC01
, 2F064FF03
, 2F064GG00
, 2F064GG02
, 2F064GG12
, 2F064GG23
, 2F064GG33
, 2F064GG68
, 2F064HH01
, 2G059BB12
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059EE09
, 2G059GG10
, 2G059JJ15
, 2G059JJ17
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ22
, 2G059KK01
, 2G059LL01
, 2G059PP04
引用特許:
引用文献:
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