特許
J-GLOBAL ID：200903093428975905
基板搬送用アーム及びそれを用いた搬送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-222039
公開番号（公開出願番号）：特開平9-066486
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】摺動部分が少なく、不純物の飛散を防ぎやすい関節形のロボットで、剛性の高い閉じた連鎖機構により基板の搬送距離に対して腕の長さを短くできる基板搬送用アーム。【解決手段】6本の腕が閉じたリンク機構よりなり、各回転関節の回転軸11,12,13,14,15,16が互いに平行で、ベースに固定された腕と隣接する腕の3本の腕の長さの和と他の3本の腕の長さの和が等しくしてある。ベースに固定された腕を中心に左右対称に腕の長さが合わせてある。ベースに固定されたモータがもう1個のモータの中心を貫通しているため、独立に2本の腕を駆動できる。閉じたリンク機構の特異点を通過できる。剛性の高い閉じた連鎖機構を用いて、腕の長さに対して搬送距離が長くできるようにしてあるので、外形が小さく、基板の搬送を高速で行える基板搬送アームを得ることができる。
請求項（抜粋）：
ベースに固定された第1腕に回転軸を介して第2腕を接続し、前記第2腕に回転軸を介して第3腕を接続し、前記第3腕に回転軸を介して第4腕を接続し、前記第4腕に回転軸を介して第5腕を接続し、前記第5腕に回転軸を介して第6腕を接続し、前記第6腕に回転軸を介して前記ベースに固定された前記第1腕を接続して閉じた連鎖をなし、前記第4腕に取り付けられたハンドに基板を積載して搬送する基板搬送用アームにおいて、全ての回転軸を互いに平行とし、前記第1腕と前記第2腕と前記第6腕の長さの和と、前記第3腕と前記第4腕と前記第5腕の長さの和をほぼ等しくしたことを特徴とする基板搬送用アーム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B25J 18/02
, B65G 49/07 D
