特許

J-GLOBAL ID：200903093431342433

搬送装置

発明者： 古嶋 英男 ,  三谷 慎一
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-303842
公開番号（公開出願番号）：特開平6-155366
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：

【要約】【目的】本発明は、搬送ア-ムに沿って長い配線を設けることなく、把持部の駆動手段に給電できるようにした搬送装置を提供することを目的とする。【構成】本発明は搬送ア-ム11と、この搬送ア-ム11の先端部に設けられ半導体ウエハ5を把持する把持部14を有したハンド12と、このハンド12に設けられ前記把持部14を駆動するソレノイド19と、前記ハンド12に設けられ光を受光することにより、該光エネルギ-を電気エネルギ-に変換して前記ソレノイド19に供給する太陽電池20とを具備してなる。

請求項（抜粋）：

搬送ア-ムと、この搬送ア-ムの先端部に設けられ被把持物を把持する把持部を有した把持手段と、この把持手段に設けられ前記把持部を駆動する駆動手段と、前記把持手段に設けられ光を受光することにより、該光エネルギ-を電気エネルギ-に変換して前記駆動手段に供給する光電変換手段と、を具備してなることを特徴とする搬送装置。

IPC (5件)：

B25J 19/00 ,  B25J 15/08 ,  B65G 1/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-078791
  
• 特開昭63-114888