特許
J-GLOBAL ID：200903093433798337
オゾン発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-036346
公開番号（公開出願番号）：特開平8-231206
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月10日
要約：
【要約】【目的】 高電圧電極1が設けられた誘電体管14と、該誘電体管14に空隙部3を介して対向配設された接地電極管12とを備え、前記高電圧電極1と接地電極管12間に電圧を印加して前記空隙部3内に流通させた原料ガス中にオゾンを発生させる無声放電式のオゾン発生装置において、投入電力量に対するオゾン発生量を増加させる。【構成】 接地電極管12を低仕事関数材料、例えばLaB6で構成する(図1(a))か、又は既存の接地電極管22の空隙部側の面に、例えばPVD法(物理蒸着法)によって低仕事関数材料層23を成膜して設ける(図1(b),(c))。これにより、電荷が放出し易くなり、ストリーマ状放電柱が電極表面に多数発生し、放電柱が密集するようになる。その結果電子とO2分子との衝突確率が向上し、投入電力量に対するオゾン発生量を増加させることができる。
請求項（抜粋）：
一方の面に高電圧電極が設けられた誘電体と、該誘電体の他方の面に空隙部を介して並設された接地電極とを備え、前記高電圧電極と接地電極間に電圧を印加して前記空隙部内に流通させた原料ガス中にオゾンを発生させる無声放電式のオゾン発生装置において、前記接地電極を低仕事関数材料で構成したことを特徴とするオゾン発生装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 13/11 J
, H01T 23/00
