特許
J-GLOBAL ID：200903093435640358
ペリクル及びペリクル付露光用マスク
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-330232
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160855
出願日： 1997年12月01日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】機械的な強度を高め、耐用期間の延長を可能とする。【解決手段】露光用マスク本体6と、露光用マスク本体6上に固定配置され、所定の高さを有する枠状のフレーム3と、フレーム3に接合され、細線状に複数形成された石英ファイバ1と、石英ファイバ1に固定支持され、フレーム3により露光用マスク本体6表面と所定の間隔をおいてフレーム3の内側を塞ぐことにより、露光用マスク本体6表面へのダストの付着を防ぐペリクルメンブレン膜5から構成され、石英ファイバ1はペリクルメンブレン膜5よりも機械的強度が高く、かつペリクルメンブレン膜5を透過する光強度が実質的に均一となるように形成される。
請求項（抜粋）：
所定の高さを有する枠状のフレームと、このフレームに接合され、細線状に複数形成された支持部材と、この支持部材に固定支持され、前記フレームの内側を塞ぐように張られたペリクルメンブレン膜とを具備してなり、前記支持部材は該ペリクルメンブレン膜よりも機械的強度が高く、かつペリクルメンブレン膜を透過する光強度が実質的に均一となるように形成されたものであることを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G03F 1/14 K
, H01L 21/30 502 P
, H01L 21/30 503 D
, H01L 21/30 503 G
