特許

J-GLOBAL ID：200903093436166030

複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置

発明者： 清原 正勝 ,  鳩野 広典 ,  森 勝彦 ,  伊藤 朋和 ,  吉田 篤史 ,  山口 香織里 ,  横山 達郎 ,  安田 基 ,  辻道 万也 ,  明渡 純
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  東陶機器株式会社
代理人 (1件)： 小山 有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-077993
公開番号（公開出願番号）：特開2003-183847
出願日： 2002年03月20日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】 微粒子を含むエアロゾルを高速で基板に吹き付けてダイレクトに複合構造物を形成させる複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置において、複合構造物を長時間安定的に生産性良く形成させることができる複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置を提供する。【解決手段】 上記複合構造物作製方法及び複合構造物作製装置において、ノズルを加熱する手段を配設し、ノズル内壁を加熱することにより、微粒子を十分に加速させることで基板への構造物の形成速度を向上させることができた。また、ノズル内壁への微粒子や凝集粒の付着を大幅に低減させることができた。その結果、複合構造物を長時間安定的に生産性良く形成させることが可能となった。

請求項（抜粋）：

微粒子をガス中に分散させたエアロゾルをノズル先端から噴射して基板に吹き付けて微粒子の材料からなる構造物を基板上に形成させることによって基板と構造物からなる複合構造物を作製する複合構造物作製方法において、少なくとも前記エアロゾルを前記基板に吹き付けるときには、前記ノズル先端の温度が50°C〜150°Cになるように加熱手段によって制御することを特徴とする複合構造物作製方法。

Fターム (9件)：

4K044AA06 ,  4K044BA01 ,  4K044BA11 ,  4K044BA12 ,  4K044BA13 ,  4K044BB01 ,  4K044BB03 ,  4K044CA23 ,  4K044CA24