特許
J-GLOBAL ID：200903093442397612
ウエーハの研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-288187
公開番号（公開出願番号）：特開平5-123965
出願日： 1991年11月05日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】 電子部品の形成に用いられる各種ウエーハの研磨方法に関し、ウエーハに残存している反りを矯正可能なウエーハの研磨方法の提供を目的とする。【構成】 回転する下部定盤2に所定の押圧力でウエーハ4を押し付け砥粒を用いてウエーハ4を研磨するに際し、研磨を開始してから終了するまでの間に下部定盤2上のウエーハ4を繰り返し反転させると共に、研磨を開始してから終了するまでの間にウエーハ4に印加される押圧力を研磨の進捗に合わせ、所定の押圧力の1/2以下から所定の押圧力まで段階的に増大せしめるように構成する。
請求項（抜粋）：
回転する下部定盤(2) に所定の押圧力でウエーハ(4) を押し付け砥粒を用いて該ウエーハ(4) を研磨するに際し、研磨を開始してから終了するまでの間に該下部定盤(2) 上の該ウエーハ(4) を繰り返し反転させると共に、研磨を開始してから終了するまでの間に該ウエーハ(4) に印加される該押圧力を研磨の進捗に合わせ、所定の押圧力の1/2以下から所定の押圧力まで段階的に増大せしめることを特徴とするウエーハの研磨方法。
IPC (2件)：
B24B 37/04
, H01L 21/304 321
