特許
J-GLOBAL ID：200903093443038314
透孔周辺部の外観検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高 雄次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-244150
公開番号（公開出願番号）：特開平10-068615
出願日： 1996年08月27日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：
【要約】【課題】 検査員の目にかかる負担を減少すると共に、検査時間を短縮し、かつ検査結果のばらつきを無くし得る透孔周辺部の外観検査装置を提供する。【解決手段】 透孔2aを備えた検査対象物2を載置する水平な検査テーブル1と、その上方に配置され、水平面内で直交する2軸方向へ検査テーブルと相対的に移動可能な検査ヘッド4と、これに取り付けられ、光軸が検査テーブルに垂直な撮像装置8と、その鏡筒8aに内蔵され、鏡筒と同軸の光線を投射する照明装置9と、鏡筒の外周に付設され、検査テーブルに所要傾斜角度の光線を投射する周辺照明装置10と、撮像装置からの画像と基準画像を比較して良否を判定する判定装置11と、検査テーブル等の作動を決められた手順に従って制御する制御装置14とを備えている。
請求項（抜粋）：
透孔を備えた検査対象物を載置する水平な検査テーブルと、検査テーブルの上方に配置され、水平面内で直交する2軸方向へ検査テーブルと相対的に移動可能な検査ヘッドと、検査ヘッドに取り付けられ、光軸が検査テーブルに対して垂直な撮像装置と、撮像装置の鏡筒に内蔵され、鏡筒と同軸の光線を投射する照明装置と、撮像装置の鏡筒の外周に付設され、検査テーブルに対して所要傾斜角度の光線を投射する周辺照明装置と、撮像装置から入力された画像と予め入力されている基準画像とを比較して検査対象物の良否を判定する判定装置と、検査テーブル又は検査ヘッド,撮像装置,照明装置,周辺照明装置及び判定装置の動作を予め決められた手順に従って制御する制御装置とを備えることを特徴とする透孔周辺部の外観検査装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, H01L 21/302
G01B 11/24 C
, G01N 21/88 E
, G06F 15/62 405 A
, H01L 21/302 Z
