特許

J-GLOBAL ID：200903093450690434

露光処理用自動位置合わせ装置

発明者： 大山 裕一
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-355287
公開番号（公開出願番号）：特開平10-186684
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】 処理対象となる基板に対して露光用のマスクを位置合わせする際、高精度化及び高効率化を図る。【解決手段】 露光処理用自動位置合わせ装置は、画像認識処理に基づいてマスクと基板5の位置誤差を検出する。第1のカメラ1はマスク及び基板5にそれぞれ設けた第1のアライメントマーク同志が重なった状態の画像を撮像する。第2のカメラ2はマスク及び基板5にそれぞれ設けた第2のアライメントマーク同志が重なった状態の画像を撮像する。画像処理装置12,22はそれぞれ第1のカメラ1から出力された画像を処理して第1のアライメントマーク同志の相対的位置を演算するとともに、第2のカメラ2から出力された画像を処理して第2のアライメントマーク同志の相対的位置を演算する。シーケンサー7は各画像処理装置12,22から出力された演算結果に基づいてマスクと基板5の相対的な回転移動量θ及び二次元平行移動量X,Yを算出して両者の位置合わせを制御する。

請求項（抜粋）：

処理対象となる基板と露光用のマスクとの位置を合わせるため、基板に設けた第1及び第2のアライメントマークとマスクに設けた第1及び第2のアライメントマークを互いに重なった状態で撮像し、画像認識処理に基いてマスクと基板の位置誤差を検出し、両者を相対的に移動する露光処理用自動位置合わせ装置であって、マスク及び基板にそれぞれ設けた第1のアライメントマーク同志が重なった状態の画像を撮像する第1のカメラと、マスク及び基板にそれぞれ設けた第2のアライメントマーク同志が重なった状態の画像を撮像する第2のカメラと、第1のカメラから出力された画像を処理して第1のアライメントマーク同志の相対的位置を演算するとともに、第2のカメラから出力された画像を処理して第2のアライメントマーク同志の相対的位置を演算する画像処理手段と、画像処理手段から出力された演算結果に基づいてマスクと基板の相対的な回転移動量及び二次元平行移動量を算出して両者の位置合わせを制御する制御手段とを有することを特徴とする露光処理用自動位置合わせ装置。

IPC (2件)：

G03F 9/00 ,  G02B 5/20 101

FI (2件)：

G03F 9/00 H ,  G02B 5/20 101