特許
J-GLOBAL ID：200903093454054605
ウエーハ計数方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-216325
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041442
出願日： 1991年08月02日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：
【要約】【目的】半導体製造装置のカセット内に収納されたウェーハの計数を行う場合のウェーハ位置基準点を正確に求める。【構成】ウェーハ4が所要枚数連続的に装填されたカセット5に対し、ウェーハセンサ15をウェーハ面に対して垂直方向に相対的に走査させ、ウェーハON-OFF信号とON-OFF信号発生点の位置情報に基づき、ウェーハ間隔、ウェーハ位置を求め、該ウェーハ間隔、ウェーハ位置よりウェーハ検知開始位置を演算する様にし、実際のウェーハの状態を判断し、且実際のウェーハの状態からウェーハ計数の為の基準位置を演算で求める。
請求項（抜粋）：
ウェーハが所要枚数連続的に装填されたカセットに対し、ウェーハセンサをウェーハ面に対して垂直方向に相対的に走査させ、ウェーハON-OFF信号とON-OFF信号発生点の位置情報に基づき、ウェーハ間隔、ウェーハ位置を求め、該ウェーハ間隔、ウェーハ位置よりウェーハ検知開始位置を演算することを特徴とするウェーハ計数方法。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 31/28
, H01L 21/68
