特許

J-GLOBAL ID：200903093454575303

レジスト重合度の判定方法およびその判定装置

発明者： 河村 浩幸 ,  井波 敬 ,  安井 秀明
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-328731
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164692
出願日： 1991年12月12日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：

【要約】【目的】 基板上に製膜したレジストを、破損することなくリアルタイムに重合度を判定する。【構成】 赤外線照射装置1から出射した赤外線を、第1の凹面鏡2で集光して反射鏡4上に設置したレジストを塗布した基板3に照射し、その反射光を第2の凹面鏡5、プリズム6、第3の凹面鏡7を介して真空熱電対8に導く。ここで検出した805cm-1,1170cm-1の各波数の赤外線についてレジスト硬化前、後の値を比較演算し、レジストの重合終了を判定する。この方法によれば、非破壊でリアルタイムにレジストの硬化を判定できる。また、本装置をベルトコンベアーに組み込むことにより、ラインセンサとしても利用できる。

請求項（抜粋）：

被検査体であるレジストの赤外線吸収スペクトルの内、前記レジストに含まれるアクリル基に含まれるC=C結合に関係して赤外線吸収波長800〜820nmに現われる赤外線スペクトル強度A(C=C)、または前記レジストに含まれるアクリル基のCH2=CHに関係し赤外線吸収波長1170〜1180nmに現われる赤外線吸収スペクトル強度A(CH2=CH)の少なくとも1つを抽出し、前記レジストを基板に塗布した直後のそれぞれの赤外線吸収スペクトル強度であるA0(C=C),A0(CH2=CH)と、前記レジストの重合反応を終了させるために予め設定した硬化プロセスを経た後の赤外線吸収スペクトル強度A1(C=C),A1(CH2=CH)の比を(数1),(数2)からそれぞれ計算し、Ψ,Φが予め設定した値Ψ0,Φ0になったことでレジストの重合反応の終了を判定するレジスト重合度の判定方法。【数1】【数2】

IPC (2件)：

G01N 21/35 ,  G03F 7/26 501