特許

J-GLOBAL ID：200903093454901731

光学部材

発明者： 中村 浩 ,  網干 順治
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-270062
公開番号（公開出願番号）：特開平11-109103
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1999年04月23日
要約：

【要約】【課題】 使用波長120nm≦λ0≦200nmで、入射光の偏光方向に依存せず、反射防止効果を奏する光学部材を提供する。【解決手段】 凹部が周期的に設けられた120nm〜200nmの波長領域用の光学薄膜材料からなる反射防止層を、或いは120nm〜200nm波長領域用の光学薄膜材料により凸部が周期的に形成されてなる反射防止層を基板上に有する光学部材。

請求項（抜粋）：

凹部が周期的に設けられた120nm〜200nmの波長領域用の光学薄膜材料からなる反射防止層を、或いは120nm〜200nm波長領域用の光学薄膜材料により凸部が周期的に形成されてなる反射防止層を基板上に有する光学部材。

IPC (4件)：

G02B 1/11 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  G02B 3/00

FI (4件)：

G02B 1/10 A ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  G02B 3/00 Z